中国Yuliangsheng开始量产浸没式DUV光刻机，助力AI芯片供应链

中国Yuliangsheng开始量产浸没式DUV光刻机，首批交付中芯国际等，用于7nm芯片制造，是本土AI芯片供应链的重要里程碑。

• 首批设备今年交付给中芯国际、华虹和长鑫存储，用于制造7nm芯片。
• 当前设备相当于ASML NXT:1980Di（28nm工具，通过多重图案化可达7nm），落后前沿10-15年。
• 预计2027年生产20台，目前依赖日本关键部件，良率爬坡缓慢。
• 这是中国掌控本土AI供应链的重要举措，有助于减少对进口设备的依赖。
• 影响/看点：尽管技术差距和供应链挑战仍存，但量产意味着中国在光刻机自主化上迈出实质一步，对AI芯片国产化意义重大。

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